关于芯片的8个关键疑问 我们和中科院微电子研究所王晓磊聊了聊丨专访

近日,清华大学团队基于存算一体计算范式,研制出首颗全系统集成的、支持高效片上学习(机器学习能在硬件端直接完成)的忆阻器存算一体芯片,再次引发公众对芯片的关注。与此同时,涉及芯片的许多专业名词也引发疑问。

芯片到底是什么?有哪些分类?是如何制造出来的?和生活有何关系?全球芯片产业现状如何?对此,封面新闻专访了中国科学院微电子研究所先导中心副主任王晓磊。

据介绍,芯片是半导体元件产品的统称,也称集成电路或微处理器,是一种将大量电子元件(如晶体管、电阻、电容等)集成于硅片上的微型电子器件。

“我们常说的芯片,可根据功能、用途等多个因素分类。”王晓磊表示,根据功能不同,芯片可分为用于通用计算的CPU(即中央处理单元),它是计算机系统的运算和控制核心,是信息处理、程序运行的最终执行单元。

此外,专门处理图形渲染和并行计算的GPU(即图形处理单元),用来满足大型3D游戏和高清视频等需求,也就是常说的“显卡”。

相对CPU和GPU,更专业的还有专门应用的ASIC(专用集成电路)和FPGA(现场可编程门阵列)。“ASIC一般运用于智慧安防、自动驾驶、智慧通信等。FPGA一般用于图像处理、5G通信、自动驾驶等。”王晓磊说。

王晓磊表示,根据不同用途,芯片可分为计算芯片、存储芯片、通信芯片、传感器芯片、电源管理芯片及音频和视频编解码芯片等。

据介绍,不同类型芯片被应用到不同场景。比如,数据中心级芯片主要应用于内存、固态硬盘等。消费类芯片用于电脑、手机等产品。还有一些芯片用于卫星通信、精准导航等领域。

“其实芯片的应用,日常生活中无处不在,每一个电子产品制造和使用都离不开芯片。”王晓磊举例,智能手机要正常工作需要十多种芯片,如负责电源管理、蓝牙、Wi-Fi、蜂窝网络连接、音频和图像处理等功能的芯片。

“再比如自动驾驶汽车,依赖传感器、处理器和通信芯片,才能实现智能驾驶和交通管理。”他介绍。

王晓磊介绍,规格制定,主要是确定芯片功能、能耗、成本等,“对大方向做设定,并确定芯片需要符合的协议。然后,根据不同功能将芯片划分成不同单元。”

前端设计部分,设计人员根据系统设计确定的方案,针对每个模块展开电路设计。一般采用专门软件和程序语言将功能电路构建出来,按一定标准对电路进行验证。后端设计部分,设计人员在软件中将描述电路变成实际电路结构设计图,进行电路元器件布局与连线。

EDA全称电子设计自动化,是协助完成集成电路芯片设计、制造、封装测试等产业环节的计算机辅助设计软件。

王晓磊说,随着芯片复杂度不断提升,10纳米以下的集成电路中半导体器件数量可达百亿量级,必须通过EDA工具实现电路设计等。

芯片在半导体材料衬底上制造。王晓磊说,目前主要使用的半导体衬底是硅材料。硅片制备就是制备高纯度的硅材料衬底,通过硅晶锭的生长、滚圆、切片、抛光、检验及包装等工序实现。

资料显示,硅衬底材料一般制备成几百微米厚度的圆形薄片,通常也称硅晶圆。硅晶圆直径越大,同时可制造的芯片数量越多,是降低芯片制造成本的重要指标,即通常说的4英寸、8英寸、12英寸等。

“晶圆制造能实现的器件最小特征尺寸是决定芯片性能的重要指标。”王晓磊表示,晶圆制造,是指按一定流程对硅晶圆进行清洗、薄膜制备、光刻图形、刻蚀及掺杂等加工工艺,在硅晶圆上形成不同元器件和连线的过程。

据介绍,目前产业界已实现等效特征尺寸小至3纳米的器件,3纳米是头发丝直径1/10000,光刻机技术则是实现纳米级加工尺寸的重要工艺方法,目前是晶圆制造过程最复杂、最昂贵,也是最关键的工艺。

晶圆测试包括在芯片制造工艺过程中的各种在线检查、测量,在芯片制造完成后用探针卡对集成电路芯片部分功能、性能的分检测试。

“封装类似给裸芯片穿一件坚实外衣。”王晓磊介绍,封装是把集成电路装配为芯片最终产品的过程。封装可以让芯片抵挡外界沾污,以保护芯片性能。同时,还给芯片引出触角,使其能和外部世界的电信号交流。

“通俗讲,光刻是用光源透过一块带有图形的掩膜版照射到硅晶圆表面,让表面的光刻胶发生光化学反应,从而将掩膜图形转移到硅晶圆上的加工工艺。”王晓磊表示,光刻可在晶圆上同时形成大量的、纳米量级图形,既决定晶圆制造最小特征尺寸,也是大规模量产基础。因此,光刻技术是器件微缩和提升芯片集成度的重要工艺方法。

“一直以来,光刻机最小分辨率是技术节点微缩的重要驱动力。”王晓磊介绍,比如45纳米技术节点,采用193纳米紫外光源;14纳米技术节点,采用浸没式光刻技术;到了7纳米,为了实现更小光刻分辨率,使用极紫外光源,即EUV光刻技术。

“一般来说,用于成像的光源波长越短,光路空间的折射率越高,分辨率越好。”王晓磊介绍,EUV光刻采用13.5纳米波长的极紫外光源,相比193纳米波长的紫外光源,分辨率更高,可实现更小尺寸图形刻制。浸没式光刻技术,则是让曝光区域与光刻机透镜之间充满水,进而增大折射率,提升分辨率。

集成电路制造实验室,图中设备用来生长集成电路的薄膜。图片来源 中国科学院微电子所

王晓磊表示,晶圆制造技术的特征尺寸越小,芯片计算速度越快、越省电、越便宜。“根据摩尔定律,每隔18个月,器件特征尺寸缩小0.707倍,集成度增大1倍;相应地,单位面积的芯片性能增加15%,功耗降低40%,成本降低35%。”

“目前,最先进的晶圆制造量产技术已达3纳米,我国台湾地区台积电和韩国三星均已在2022年实现相关技术。在1平方毫米大小的芯片上,晶体管数量超过1亿个。”王晓磊说。

据介绍,集成电路产业是知识密集型、技术密集型、资本密集型和人才密集型的高科技产业。涉及上千种细分领域、约十四种工业大类,是多学科交叉结晶的产物。

王晓磊认为,集成电路产业发展不仅要求有很强的经济实力作为依托,还要求具备深厚的技术与人才基础。

他表示,集成电路具有战略性和市场性的双重特征。战略性在于,信息社会中的航天器、卫星和信息安全等领域需要使用的电子设备量越来越大,而所有电子设备都无法绕过集成电路而存在。“集成电路是国家工业的重要基础。”

世界半导体贸易统计组织(WSTS)数据显示,2022年,集成电路产业市场份额约4799亿美元,巨大的经济效益决定该产业在各国经济发展规划中举足轻重的地位。战略与经济价值决定了集成电路在信息社会发展中占据重要地位,成为“必争之地”。

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